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洁净厂房设计之洁净室洁净度的等级标准

来源:金蒙净化技术 发布时间:2015-4-7 10:43:14

洁净厂房设计之洁净室洁净度的等级标准

1、ISO-14644,是国际标准,也是我国标准,日本、俄罗斯、欧洲等国均都采用这一标准,美国也将FS209E改为ISO-14644标准。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级

注:①每个测点应至少采样3次

②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性

③根据工艺要求可确定1~2粒径

④根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定(粒径0.1um~5um)Cn=10NX(0.1/D)2.08(PC/m3)

N为等级1~9级中间可以0.1为最小单位递增量。

 

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